分成真空室度箱度和非真空室度箱度两者业务类型，非真空室度箱度是大气环境心理压力，或自然压等铁阴阳离子拆洗机，非真空室度箱度等铁阴阳离子拆洗机，大部分使用清如收集窗户玻璃橡胶条或很多小人数保养

为是什么等化合物清洁工作机所需负压环境完成治理 ？

等化合物除垢机引出重力作用度室内工作工作坏境的缘故有好多，但轻松地说，首要有这两个缘故：引出重力作用度室的固体在各种压力室内工作工作坏境下不太会电离，在充汽电离产生了等化合物体事先不得不超过重力作用度室内工作工作坏境。虽然，重力作用度室内工作工作坏境允许的我国管控重力作用度室中的固体分类，管控重力作用度室中固体分类对等化合物清理环节的可再次性至关必要。

要开展等阴阴阴离子加工处理成品，公司一方面生孩子等阴阴阴离子。一方面，将1个气休或相溶气休带来封密的高压低压真空箱等阴阴阴离子室。以后这样气休被几个电极材料板互相的频射带来(RF) 激活，这些气体中激活的离子加速并开始振动。这种振动需要清洁材料表面的污染物。

在加工的过程 中，等阴阳亚铁离子中激活码的原子团和原子团会发表UV紫外线的线，引发等阴阳亚铁离子光。环境温度把握整体通常情况下使用在把握蚀刻带宽。- 9d摄氏度温度之间的蚀刻速度是室温蚀刻速度的四倍。等离子蚀刻温度可控制在15摄氏度。我们所有的温度控制系统都已预编程并集成到等离子系统的软件中间。

有所差异的有毒固体会凭借将有所差异的有毒固体获取等正亚铁离子室来更改处里方式。可用的等正亚铁离子处里器体涉及到Q2，N2，Ar，H2 和CF4。世界各地的大多数实验室基本上使用这五种气体进行等离子处理。

等阴阳亚铁阳离子治理一般而言需用大概两到比较钟。等阴阳亚铁阳离子治理完整后，重力作用泵快速清理等阴阳亚铁阳离子室内设计吊顶的水废弃物，室内设计吊顶板材干净紫外线灯消毒，可粘结或下步骤。

等化合物是有机废气气体团伙在真空室、蓄电池充电等层次性场景成型的东西。等化合物进行维护清洁/蚀刻形成等离子的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，然后气体越来越薄，分子间距和分子或离子的自由运行距离越来越长，受磁场的影响，碰撞形成等离子，同时发光。等离子在电磁场中的空间运行，轰击被处理物体的表面，从而达到表面处理、清洁和蚀刻的实际效果。

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